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中电流离子注入机IMX-3500是一款最高能量为200kV、晶圆尺寸最大为8英寸的离子注入机,非常适合大学的研发。
法国IBS公司(IBS INFORMATION)成立于1987年,一直致力于离子注入领域的研发、设计制造与服务,并不断升级和提高在该领域的技术水平。创始人是来自...
离子注入机由离子源、质量分析器、加速器、四级透镜、扫描系统和靶室组成,可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位,作用是把需要注入的元素气态粒子...
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